磁控溅射论文

离子束溅射制备氧化钽层的绝缘性能

一、离子束溅射制备的氧化钽层的绝缘特性（论文文献综述）魏晓慧[1]（2020）在《LED微弧氧化铝基板及其表面金属化技术研究》文中研究表明基板散热问题已成为制约大功率LED发展...